Analyse de faisabilité de l'anneau en C métallique dans l'application de vanne à vide
Créé le 2025.12.28
Résumé : En tant que composant clé contrôlant l'ouverture et la fermeture des médias dans les systèmes à vide, la performance d'étanchéité des vannes à vide détermine directement le degré de vide du système, la stabilité opérationnelle et la durée de vie. Les joints en C métalliques sont de plus en plus utilisés dans les domaines d'étanchéité haut de gamme en raison de leur excellente résistance à haute température, de leur résistance à la corrosion, de leur résistance à la déformation et de leurs caractéristiques d'étanchéité à long terme. Partant des exigences d'étanchéité des vannes à vide, cet article analyse systématiquement les indicateurs de faisabilité clés des joints en C métalliques dans les applications de vannes à vide, tels que l'adaptabilité, la fiabilité d'étanchéité et l'adaptabilité aux conditions de travail, combinés à leurs avantages structurels et de performance. Parallèlement, les problèmes potentiels et les solutions correspondantes lors de l'application sont discutés, fournissant des références théoriques et pratiques pour l'application technique des joints en C métalliques dans les vannes à vide.
1. Introduction
Les vannes à guillotine sous vide sont largement utilisées dans des domaines haut de gamme tels que la fabrication de semi-conducteurs, l'industrie photovoltaïque, le revêtement sous vide et l'aérospatiale. Leur fonction principale est de réaliser un on-off rapide et un scellement fiable des systèmes sous vide. Dans ces scénarios d'application, le système impose souvent des exigences strictes sur les joints, telles qu'un environnement sous vide ultra-haut (pression ≤ 10⁻⁷ Pa), une large plage de températures (-50℃ ~ 500℃ et au-dessus), des milieux corrosifs forts (tels que le plasma, les gaz d'échappement de dépôt de vapeur chimique) et des exigences de stabilité pour des commutations fréquentes à long terme.
Actuellement, les joints couramment utilisés pour les vannes à guillotine sous vide sont principalement des joints en caoutchouc (tels que des joints toriques, matériaux incluant le fluorocarbone, le caoutchouc silicone, etc.) et des joints métalliques (tels que des joints toriques métalliques, des joints en C, des joints à plaque ondulée, etc.). Bien que les joints en caoutchouc présentent des avantages tels que le faible coût et la facilité d'installation, ils sont sujets au vieillissement, à la volatilisation (générant des dégazages), à la déformation et à d'autres problèmes dans des conditions de haute température, de vide ultra-élevé et de forte corrosion, entraînant une diminution des performances d'étanchéité et une durée de vie raccourcie, ce qui rend difficile la satisfaction des exigences de fonctionnement stable à long terme des systèmes sous vide haut de gamme.
En tant que joint élastique en métal efficace, la structure unique en section transversale en forme de C des anneaux en C en métal leur confère une bonne capacité de compensation élastique. Parallèlement, s'appuyant sur les excellentes caractéristiques des matériaux métalliques, ils se distinguent par leur résistance à haute température, leur résistance à la corrosion, leur faible taux de dégazage et d'autres aspects. Cet article vise à démontrer la faisabilité des anneaux en C en métal dans les applications de vannes à guillotine sous vide en analysant leurs caractéristiques structurelles et de performance, combinées au principe de fonctionnement d'étanchéité et aux exigences de conditions de travail des vannes à guillotine sous vide, et propose des orientations techniques optimisées pour leur application.
2. Caractéristiques structurelles et de performance des anneaux C en métal
2.1 Caractéristiques structurelles
La section transversale des anneaux en métal en forme de C est en forme de "C", généralement estampée à partir d'une seule couche de tôle métallique fine. Certains produits haut de gamme adoptent des structures composites multicouches ou des traitements de revêtement de surface (tels que le plaquage en or, le plaquage en argent, le plaquage en nickel, etc.). Leur avantage structurel principal réside dans le fait que, lorsqu'ils sont soumis à une charge de compression axiale, l'ouverture de l'anneau en C subira une expansion élastique, faisant en sorte que la surface circulaire extérieure (ou intérieure) du joint s'adapte étroitement à la paroi de la rainure de joint pour former un joint de contact linéaire ; en même temps, la paroi latérale en arc de l'anneau en C peut absorber le déplacement causé par des erreurs d'assemblage, la déformation du corps de vanne et les variations de température grâce à une déformation élastique, ayant ainsi une bonne capacité de compensation. De plus, la structure creuse de l'anneau en C formera une certaine chambre de pression à l'intérieur pendant le processus de compression, renforçant encore l'effet d'étanchéité. Surtout dans un environnement sous vide, cette caractéristique d'étanchéité "auto-renforçante" est plus significative.
2.2 Caractéristiques de performance du noyau
1. Excellente résistance à haute température : Les anneaux C en métal sont généralement fabriqués à partir de matériaux métalliques résistants à haute température tels que l'acier inoxydable (304, 316L), l'alliage Inconel, l'alliage Hastelloy, etc. La plage de température de fonctionnement peut couvrir -200℃ à 800℃, et certains matériaux spéciaux peuvent même fonctionner de manière stable dans des environnements à haute température au-dessus de 1000℃, ce qui est de loin supérieur aux joints en caoutchouc (généralement la température de fonctionnement maximale ≤ 250℃).
2. Taux de désorption faible, adapté aux ultra-hauts vide : Les matériaux métalliques eux-mêmes ont une stabilité moléculaire élevée et une volatilisation extrêmement faible (taux de désorption) dans des environnements sous vide. Après des traitements de surface appropriés (tels que le recuit sous vide, le polissage), le taux de désorption peut être contrôlé en dessous de 10⁻¹⁰ Pa·m³/(s·m²), ce qui peut répondre aux exigences d'étanchéité des systèmes à ultra-haut vide (≤ 10⁻⁷ Pa). Cependant, les joints en caoutchouc sont difficiles à adapter aux environnements à ultra-haut vide en raison de la volatilisation facile des composants organiques dans leurs propres matériaux.
3. Résistance à la corrosion élevée : Les anneaux C métalliques fabriqués à partir de matériaux en alliage résistant à la corrosion ou avec des traitements de revêtement de surface peuvent résister à l'érosion des milieux corrosifs tels que les acides, les alcalins, les sels et le plasma, et sont adaptés aux systèmes à vide avec des conditions de travail corrosives telles que le dépôt de vapeur chimique (CVD) et la gravure au plasma. En revanche, les joints en caoutchouc sont sujets au gonflement et au vieillissement dans des environnements de forte corrosion, avec un risque élevé de défaillance d'étanchéité.
4. Forte capacité de compensation élastique et haute fiabilité d'étanchéité : La structure en section transversale des C-rings leur confère une large plage de déformation élastique, ce qui peut compenser efficacement l'erreur de planéité de la surface d'étanchéité, la micro-déformation du corps de vanne lors des variations de température ou des fluctuations de pression, et l'usure causée par des commutations fréquentes, garantissant une fiabilité d'étanchéité à long terme. De plus, les matériaux métalliques ont une excellente résistance à la fatigue et une durée de vie beaucoup plus longue que celle des joints en caoutchouc, ce qui peut réduire la fréquence de maintenance et le temps d'arrêt du système de vide.
5. Excellente résistance à la pression : Les C-rings en métal peuvent supporter de fortes charges de compression axiale. Dans les systèmes à vide à haute différence de pression (comme le processus de commutation entre le système à vide et l'atmosphère), ils ne sont pas sujets à la déformation plastique ou à la défaillance, et leur stabilité d'étanchéité est supérieure à celle des joints en caoutchouc.
3. Analyse des exigences d'étanchéité et des conditions de travail des vannes à vide
3.1 Principe de fonctionnement de l'étanchéité
Le noyau d'étanchéité de la vanne à guillotine sous vide est de faire déplacer la plaque de vanne à travers un mécanisme d'entraînement (tel qu'un cylindre, un moteur), de sorte que le joint sur la plaque de vanne s'adapte étroitement à la surface d'étanchéité du corps de vanne, bloquant ainsi le flux de gaz entre le système sous vide et le monde extérieur (ou différentes chambres du système). Selon les différentes parties d'étanchéité, elle peut être divisée en étanchéité de la plaque de vanne (étanchéité primaire) et étanchéité de tige de vanne (étanchéité dynamique). Parmi elles, l'étanchéité de la plaque de vanne détermine directement la performance d'étanchéité sous vide du système et est le lien d'étanchéité central. L'effet d'étanchéité de la vanne à guillotine sous vide dépend principalement du degré d'ajustement entre le joint et la surface d'étanchéité, de la capacité de compensation élastique du joint et de la stabilité du matériau.
3.2 Exigences clés des conditions de travail (raffinement spécifique au domaine)
1. Exigences en matière de degré de vide : Les exigences en matière de degré de vide des vannes à guillotine sous vide dans différents domaines d'application varient considérablement, et les domaines clés montrent une tendance vers le vide ultra-élevé. Parmi eux, le domaine des semi-conducteurs (comme les processus d'implantation ionique et de dépôt de films minces dans la fabrication de puces) a les exigences les plus strictes en matière de degré de vide, qui doit atteindre le niveau de vide ultra-élevé (≤ 10⁻⁹ Pa), et certains processus avancés nécessitent même ≤ 10⁻¹¹ Pa pour éviter la contamination de la surface de la plaquette par des gaz résiduels et affecter les performances des dispositifs ; le domaine photovoltaïque (comme le revêtement PECVD et les processus de métallisation des batteries en silicium cristallin) est principalement à vide élevé à vide ultra-élevé (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Pa), ce qui doit garantir l'uniformité et la pureté de la couche de revêtement et prévenir les défauts de film causés par un degré de vide insuffisant. De plus, le vide faible (10⁵ ~ 10⁻¹ Pa) est principalement utilisé pour le prétraitement des systèmes sous vide ou le contrôle on-off des chambres auxiliaires dans les deux domaines.
2. Conditions de travail de température : Les conditions de travail de température dans les deux domaines montrent les caractéristiques de "forte fluctuation et haute valeur extrême", et il existe des différences significatives entre les processus. Le domaine des semi-conducteurs a une très grande plage de température. Par exemple, le processus de dépôt à basse température doit être réalisé dans un environnement à basse température de -100℃ à -50℃, tandis que les processus de recuit à haute température et de métallisation doivent être opérés dans un environnement à haute température de 400℃ à 800℃, et certains processus spéciaux peuvent même atteindre plus de 1000℃, nécessitant que le joint maintienne une élasticité stable dans une large plage de température ; le domaine photovoltaïque est principalement constitué de conditions de travail à température moyenne et élevée. La température du processus de revêtement PECVD est généralement de 200℃ à 450℃, et la température du processus de recuit du silicium cristallin peut atteindre 600℃ à 900℃. Il y a des cycles de chauffage-refroidissement fréquents (des dizaines de fois par jour), ce qui impose des exigences extrêmement élevées pour la résistance à la fatigue thermique du joint. En revanche, les joints en caoutchouc sont sujets au vieillissement et à la carbonisation dans les conditions de haute température ci-dessus, et à la rupture fragile dans les conditions de basse température, ce qui est difficile à adapter.
3. Conditions de travail moyennes : Les deux domaines ont des milieux corrosifs, et les exigences en matière de contrôle de la pollution sont strictes. Les milieux corrosifs dans le domaine des semi-conducteurs sont plus complexes. Par exemple, le processus de gravure au plasma produira un plasma hautement corrosif et des gaz d'échappement de réaction contenant du fluor, du chlore, du brome, etc., et le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisera des gaz inflammables, explosifs et corrosifs tels que l'ammoniac et le silane. Ces milieux sont susceptibles d'éroder le joint et de produire des polluants, nécessitant que le joint ait une résistance à la corrosion extrêmement forte et des caractéristiques de non-libération ; les milieux corrosifs dans le domaine photovoltaïque proviennent principalement du silane, des gaz d'échappement d'ammoniac dans le processus PECVD et des substances acido-basiques résiduelles dans le processus de nettoyage. Bien que la corrosion soit légèrement inférieure à celle du domaine des semi-conducteurs, il est également nécessaire que le joint ne libère pas de polluants pour éviter d'affecter l'efficacité de conversion des cellules photovoltaïques. De plus, les systèmes de vide propre dans les deux domaines interdisent strictement au joint de produire des volatils ou des impuretés particulaires, et le problème de la libération de composés organiques volatils (COV) par les joints en caoutchouc est difficile à résoudre.
4. Fréquence d'opération : La demande de commutation à haute fréquence des lignes de production automatisées est significative, et la stratification de fréquence est causée par des différences de processus sur le terrain. Dans les lignes de production de puces haut de gamme (telles que les processus de 7 nm et inférieurs) dans le domaine des semi-conducteurs, la fréquence de commutation quotidienne des vannes à vide peut atteindre des milliers de fois (certaines chambres clés même des dizaines de milliers de fois), nécessitant que le joint ait une résistance extrême à la fatigue et à l'usure ; dans les lignes de production à grande échelle dans le domaine photovoltaïque, la fréquence de commutation quotidienne des vannes à vide est généralement de plusieurs centaines à un millier de fois, ce qui est inférieur à celui du domaine des semi-conducteurs, mais elle doit fonctionner en continu pendant une longue période (généralement seulement arrêtée pour maintenance 1 à 2 fois par mois), et a des exigences extrêmement élevées pour la stabilité à long terme du joint. La durée de vie des joints en caoutchouc ne peut généralement supporter que des milliers de commutations. Un remplacement fréquent entraînera un arrêt de la ligne de production et augmentera considérablement les coûts de maintenance.
5. Assemblage et maintenance : Les deux domaines recherchent des solutions d'étanchéité "à faible maintenance et à changement rapide" pour s'adapter aux besoins d'exploitation efficace des lignes de production. Les chambres à vide dans le domaine des semi-conducteurs sont principalement des conceptions modulaires de précision. Les joints doivent s'adapter à l'espace étroit de la rainure d'étanchéité et éviter de contaminer la chambre lors du remplacement, nécessitant que les joints soient faciles à installer et correctement positionnés ; le domaine photovoltaïque a un haut degré d'échelle de ligne de production et un grand nombre d'équipements. Il exige que le processus de remplacement du joint soit simple et peu chronophage, et qu'il s'adapte à la structure de la rainure d'étanchéité des vannes à vide à guillotine grand public sans modification à grande échelle du corps de la vanne. La personnalisabilité et la large plage de compression des C-rings en métal peuvent mieux s'adapter aux besoins d'assemblage et de maintenance des deux domaines.
4. Analyse de Faisabilité de l'Application des Anneaux C Métalliques dans les Vannes à Vide
4.1 Analyse de l'Adaptabilité des Performances d'Étanchéité
Le faible taux de dégazage des anneaux en C en métal les rend parfaitement adaptés aux besoins d'étanchéité des vannes à guillotine à ultra-haut vide. Dans l'environnement à ultra-haut vide, les composants organiques des joints en caoutchouc sont faciles à volatiliser, et le dégazage généré rendra difficile l'amélioration du degré de vide du système, et les volatils peuvent contaminer la chambre à vide ; tandis que les anneaux en C en métal adoptent des matériaux métalliques à haute stabilité, et après un traitement de recuit sous vide, le taux de dégazage peut être réduit à un niveau extrêmement bas, ce qui peut garantir efficacement la stabilité du vide du système à ultra-haut vide.
En même temps, la capacité de compensation élastique des anneaux en métal C peut s'adapter efficacement à l'erreur de planéité de la surface d'étanchéité de la vanne à guillotine sous vide. Bien que la surface d'étanchéité du corps de la vanne à guillotine sous vide soit usinée avec précision, il existe encore de légères déviations de planéité, et le corps de la vanne peut subir une micro-déformation en raison des variations de température ou de pression. Pendant le processus de compression de l'anneau en métal C, l'expansion élastique de sa structure en forme de C peut faire en sorte que la surface d'étanchéité s'adapte étroitement au mur de la rainure d'étanchéité, formant un joint d'étanchéité par contact linéaire fiable, compensant efficacement l'erreur d'usinage de la surface d'étanchéité et la déformation du corps de la vanne, et garantissant la fiabilité de l'étanchéité. De plus, la caractéristique d'étanchéité auto-renforçante de l'anneau C peut améliorer encore l'effet d'étanchéité dans l'environnement sous vide : lorsque le degré de vide du système augmente, la pression à l'intérieur de l'anneau C est inférieure à celle de l'environnement sous vide extérieur, incitant l'anneau C à se dilater davantage, renforçant la pression d'adaptation de la surface d'étanchéité, et atteignant l'effet de "plus le vide est élevé, mieux c'est l'étanchéité". Cette caractéristique est hautement cohérente avec les besoins d'étanchéité de la vanne à guillotine sous vide.
4.2 Analyse de l'Adaptabilité aux Conditions de Travail
1. Adaptabilité à la température : La plage de température de fonctionnement des anneaux en C en métal (-200℃ ~ 800℃) est beaucoup plus large que celle des joints en caoutchouc, qui peuvent s'adapter aux conditions de travail à haute et basse température des vannes à guillotine sous vide. Dans les systèmes sous vide à haute température (tels que le revêtement sous vide, le recuit à haute température), les joints en caoutchouc sont sujets au vieillissement, à l'assouplissement et même à la carbonisation, ce qui entraîne une défaillance de l'étanchéité ; tandis que les anneaux en C en métal fabriqués à partir de matériaux en alliage résistant à haute température peuvent maintenir une élasticité stable et une résistance structurelle dans des environnements à haute température, et la performance d'étanchéité n'est pas affectée. Dans les systèmes sous vide à basse température, les matériaux métalliques ont une excellente ténacité à basse température et ne durcissent pas et ne se fracturent pas de manière fragile en raison de la basse température comme les joints en caoutchouc, garantissant ainsi la fiabilité de l'étanchéité.
2. Adaptabilité moyenne : Les C-rings en métal peuvent résister efficacement à l'érosion de milieux agressifs tels que le plasma et les gaz d'échappement corrosifs en sélectionnant des matériaux en alliage résistant à la corrosion (tels que l'alliage Hastelloy, l'alliage Inconel) ou en effectuant des traitements de revêtement de surface (tels que le plaquage en or, le plaquage en nickel). Dans les processus de gravure plasma et de CVD de la fabrication de semi-conducteurs, les joints en caoutchouc s'oxydent et s'érodent facilement par le plasma, entraînant une défaillance d'étanchéité et la génération de polluants ; tandis que les C-rings en métal ont une bonne résistance à la corrosion, peuvent fonctionner de manière stable pendant longtemps et n'ont pas de libération de polluants, ce qui répond aux exigences des systèmes de vide propres.
3. Adaptabilité à la fréquence d'opération : La résistance à la fatigue et la résistance à l'usure des matériaux métalliques sont de loin supérieures à celles des matériaux en caoutchouc. Dans la vanne à clapet sous vide avec des commutations fréquentes, les anneaux en C métalliques peuvent supporter des compressions et des rebonds répétés, et ne sont pas sujets à des dommages par fatigue ou à l'usure. La durée de vie peut atteindre des dizaines de milliers, voire des centaines de milliers de fois, ce qui est beaucoup plus long que celle des joints en caoutchouc (généralement des milliers de fois). Cela peut réduire considérablement la fréquence de maintenance et le temps d'arrêt du système sous vide et améliorer l'efficacité de production.
4.3 Analyse de l'Adaptabilité de la Structure et de l'Assemblage
Le joint de la vanne à guillotine sous vide est généralement une rainure rectangulaire ou une rainure trapézoïdale. La taille de section transversale de l'anneau C en métal peut être personnalisée en fonction de la structure de la rainure de joint existante, sans modification majeure du corps de la vanne, et présente une bonne adaptabilité structurelle. Comparés aux joints toriques en métal, les anneaux C en métal ont une plage de compression plus large (généralement de 15 % à 30 % de la hauteur de section transversale), des exigences d'exactitude d'assemblage plus faibles, et sont faciles à installer et à régler. De plus, les anneaux C en métal sont légers, ne causeront pas de charge supplémentaire sur le mécanisme d'entraînement de la plaque de vanne, et s'adaptent aux besoins de conception légère des vannes à guillotine sous vide.
4.4 Analyse Économique
Du point de vue du coût initial, le prix des C-rings en métal est plus élevé que celui des joints en caoutchouc, mais leur durée de vie est beaucoup plus longue que celle des joints en caoutchouc, et ils peuvent réduire le coût de maintenance des temps d'arrêt et le coût de rebut des produits causés par des défaillances d'étanchéité (comme la contamination des wafers causée par des défaillances d'étanchéité dans la fabrication de semi-conducteurs). Dans les systèmes de vide haut de gamme, les caractéristiques d'étanchéité à long terme des C-rings en métal peuvent réduire de manière significative le coût du cycle de vie et avoir une bonne faisabilité économique. De plus, avec la maturité de la technologie de fabrication des C-rings en métal, leurs coûts de production sont progressivement réduits, améliorant ainsi encore la faisabilité économique de leur application dans les vannes à guillotine sous vide.
5. Problèmes potentiels et solutions lors de l'application
5.1 Problèmes potentiels
1. Risque de dommages à la surface d'étanchéité : La dureté des C-rings en métal est supérieure à celle des joints en caoutchouc. S'il y a des impuretés (comme des particules métalliques, de la poussière) sur la surface d'étanchéité ou si la rugosité de la surface est élevée, les C-rings en métal peuvent rayer la surface d'étanchéité lors du processus de fermeture de la plaque de vanne, affectant la performance d'étanchéité.
2. Difficulté dans le contrôle de la compression : La performance d'étanchéité des anneaux C en métal est sensible à la quantité de compression. Une quantité de compression trop faible entraînera un ajustement lâche de la surface d'étanchéité et des fuites ; une quantité de compression trop élevée peut provoquer une déformation plastique de l'anneau C et une perte de capacité de compensation élastique. Si la précision de positionnement du mécanisme d'entraînement de la vanne à guillotine sous vide est insuffisante, la quantité de compression peut être instable, affectant l'effet d'étanchéité.
3. Atténuation de l'élasticité dans un environnement à basse température : Bien que la performance à basse température des anneaux C en métal soit supérieure à celle des joints en caoutchouc, l'élasticité de certains matériaux métalliques s'atténuera dans une certaine mesure dans des environnements à très basse température (comme en dessous de -150℃), ce qui peut affecter la capacité de compensation élastique du joint.
5.2 Solutions
1. Optimiser le traitement et le nettoyage de la surface d'étanchéité : Améliorer la précision de traitement de la surface d'étanchéité du corps de vanne et réduire la rugosité de surface (Ra ≤ 0,8μm est recommandé) ; ajouter des dispositifs de filtration dans le système sous vide pour réduire les impuretés entrant dans la partie d'étanchéité ; effectuer un traitement de revêtement doux (tel que le plaquage argent, le plaquage or) sur la surface de l'anneau C en métal pour réduire la dureté du joint et diminuer les dommages à la surface d'étanchéité.
2. Améliorer la précision de positionnement du mécanisme d'entraînement : Adopter des mécanismes d'entraînement de haute précision (tels que des moteurs servo, des cylindres de précision) et coopérer avec des capteurs de déplacement pour atteindre un contrôle précis de la quantité de compression ; optimiser la conception de la rainure d'étanchéité en fonction du matériau et de la taille de section de l'anneau C en métal, et définir raisonnablement la plage de compression (généralement 20 % ~ 25 % est recommandé) pour garantir des performances d'étanchéité stables.
3. Sélectionnez des matériaux adaptés aux basses températures : Dans des conditions de travail à des températures extrêmement basses, sélectionnez des matériaux métalliques avec une excellente ténacité à basse température (comme l'acier inoxydable austénitique, l'alliage Inconel), ou effectuez un traitement de vieillissement à basse température sur des anneaux en C métalliques pour améliorer leur stabilité élastique dans des environnements à basse température.
6. Conclusions et Perspectives
6.1 Conclusions
Les C-rings en métal sont très conformes aux besoins d'étanchéité des vannes à guillotine sous vide en raison de leur excellente résistance à haute température, de leur résistance à la corrosion, de leur faible taux de dégazage, de leur forte capacité de compensation élastique et de leurs caractéristiques d'étanchéité à long terme, et présentent une bonne faisabilité dans l'application des vannes à guillotine sous vide. Se reflète spécifiquement dans : ① La performance d'étanchéité est adaptée aux conditions de travail en ultra-haut vide, à large gamme de températures et à des milieux corrosifs ; ② La structure est adaptée à la conception de la rainure d'étanchéité des vannes à guillotine sous vide existantes, et l'assemblage est simple ; ③ La résistance à la fatigue est excellente, la durée de vie est longue et le coût du cycle de vie est faible. En optimisant le traitement de la surface d'étanchéité, en améliorant la précision de positionnement du mécanisme d'entraînement et en sélectionnant des matériaux appropriés, les problèmes potentiels tels que les dommages à la surface d'étanchéité et la compression instable pendant l'application peuvent être efficacement résolus, garantissant ainsi une fiabilité d'étanchéité accrue.
6.2 Perspectives
À l'avenir, avec l'amélioration continue des exigences en matière de performance d'étanchéité des systèmes de vide haut de gamme, les perspectives d'application des anneaux C en métal dans les vannes à vide seront plus larges. Il est recommandé d'optimiser davantage leur performance d'application selon les aspects suivants : ① Développer de nouveaux matériaux métalliques composites pour améliorer la résistance à la corrosion, l'élasticité à basse température et la résistance à l'usure du joint ; ② Adopter des procédés de fabrication avancés (tels que l'impression 3D) pour réaliser la personnalisation des anneaux C en métal et s'adapter à des structures d'étanchéité complexes ; ③ Combiner la technologie de simulation pour optimiser la conception structurelle de la rainure de joint et de l'anneau C, et améliorer la performance d'étanchéité et la précision d'assemblage ; ④ Effectuer des tests de conditions de travail à long terme, accumuler des données d'application des anneaux C en métal dans différents systèmes de vide, et fournir un soutien technique plus complet pour les applications d'ingénierie.