- **半导体二次管道**:次级管道,英文称为 HOOK-UP,指的是将工艺设备连接到各种主管道的工程。它主要涉及气体、工艺冷却水、超纯水、废水和化学废液以及废气等系统。次级管道一般在主管道和工艺设备安装完成后进行。其管径小于主管道。工作内容包括与原气体供应设备的管道对接、与用户设备相应口径的管道对接,以及根据实际情况增加截止阀、气体混合柜等设备。次级管道系统与芯片质量和生产效率直接相关。它需要确保稳定和纯净的气体供应,具有良好的压力和流量控制能力,同时满足严格的安全标准,并具备可维护性和灵活性。
- **EPDM成型垫圈**: EPDM,或乙烯丙烯二烯单体,成型垫圈具有优异的耐老化性能,能够在高温、低温和紫外线辐射等恶劣环境中长期保持稳定。它们具有良好的密封性能,独特的橡胶弹性可以适应不同形状和尺寸的密封面,有效防止液体或气体泄漏。此外,EPDM成型垫圈对大多数化学品具有良好的耐化学性,可以在酸、碱和盐等腐蚀性环境中使用。它们的通用工作温度范围约为-30°C至130°C,广泛应用于电子、汽车和建筑等行业的密封场景。
- **FKM成型垫片**: FKM是一种氟橡胶。FKM形成的垫圈具有优异的化学耐受性,能够在酸、碱、盐和油等各种化学介质环境中保持稳定。它们具有出色的高低温耐受性,在广泛的温度范围内保持良好的物理性能和密封性能。同时,它们具有高弹性和抗压性,即使在高压环境中也能确保良好的密封效果。它们还可以抵御某些高辐射和高真空环境的损害,因此常用于对密封要求较高的恶劣工业环境,如半导体制造。
- **E-PTFE 垫圈**:E-PTFE,或扩展聚四氟乙烯,垫圈由100%扩展聚四氟乙烯制成。它们具有低夹紧力、良好的尺寸稳定性和化学耐受性,能够承受除熔融/溶解的碱金属和元素氟(pH 0 - 14)以外的所有介质。它们对常见法兰缺陷具有高适应性,即使在恶劣条件下也能实现紧密密封,通过维持螺栓夹紧力保持长期密封效果。
- **E-PTFE 密封带**: E-PTFE 密封带是一种理想的现场成型垫片材料,由 100% 纯扩展聚四氟乙烯制成,具有泡沫结构。它一侧有压力敏感粘合剂背面,便于安装和定位。E-PTFE 密封带具有优异的化学耐受性,能够耐受 pH 值从 0 到 14 的所有化学品,温度范围为 -200°C 到 280°C(短时间可达 315°C)。它具有强大的压力抵抗力,可在从真空到 200 bar 的压力下使用,压缩率可达 60%,恢复率为 14%,即使在最小扭矩负载下也能实现优异的密封效果。
- **PTFE粘合EPDM垫圈**:PTFE粘合EPDM垫圈是一种由聚四氟乙烯和乙烯丙烯二烯单体橡胶制成的复合垫圈。这种垫圈结合了PTFE的高温耐受性、优良的化学和腐蚀耐受性,以及EPDM的良好压缩和弹性特性。它适用于中低压和恶劣的操作条件,并可用于塑料、玻璃纤维、玻璃衬里管道系统等。